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PHL公司推出晶圆双折射检测新方案
来源:原创 | 作者:管理员 | 发布时间: 330天前 | 454 次浏览 | 分享到:
   PHL公司针对晶圆厂对晶圆缺陷检测的需求,推出了晶圆双折射测量装置,让客户高效精确的得到晶圆的双折射信息,目前在SIC和蓝宝石应用成熟。