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PA-300-XL SIC

       在PA系类设备的基础上,加装晶圆专用的装置,可以高效精确的测量SIC和蓝宝石这类光学性能特殊的产品的双折射和残余应力的信息。

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       在PA系类设备的基础上,加装晶圆专用的装置,可以高效精确的测量SIC和蓝宝石这类光学性能特殊的产品的双折射和残余应力的信息。

  PA-300-XL SIC

主要特点

  • 操作简单,测量速度可以快到3秒。
  • 视野范围内可一次测量,测量范围广。
  • 更直观的全面读取数据,无遗漏数据点。
  • 具有多种分析功能和测量结果的比较。
  • 维护简单,不含旋转光学滤片的机构。
  • 高达2056x2464像素的偏振相机。

应用领域:
  •    SIC
  •    蓝宝石

技术参数:
 

    项次            项目             具体参数
1  输出项目  相位差【nm】,轴方向【°】,相位差与应力换算(选配)【MPa】

2 测量波长 520nm

3 双折射测量范围 0-130nm

4 测量最小分辨率 0.001nm

5 测量重复精度 <1nm(西格玛)

6 视野尺寸 40x48mm到240x320mm(标准)

7 选配镜头视野 不适用

8 选配功能     实时解析软件,镜片解析软件,数据处理软件,实现外部控制

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