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非接触式三维测量仪

采用激光非接触式测量,适用于多种材料和复杂结构的样品的三维测量设备。

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采用激光非接触式测量,适用于多种材料和复杂结构的样品的三维测量设备。

NH系列是由高测量度的激光自动对焦显微镜,以及高精密度的XYZ载台所构成。如图所示,被射入显微镜镜头的激光穿过物镜后聚焦于光轴中心之处,接着反射于工件表面再穿过物镜后成像于AF传感器之上。由于失焦时,激光光点会于传感器上产生位置变化,使得传感器能捕捉到此位置变化,并利用AF驱动机制将物镜定位于聚焦处。进行形状测量时,会利用自动XY载台扫描工件,取得所聚焦各点之XYZ值。以这样的方式进行作业,工件表面的颜色或反射率等不仅不会受到影响,并且可达到大范围的高精度测量。


主要精度:

XY分解能:0.01μm

Z分解能:0.001μm

XY測定範囲:150mm

Z測定範囲:10mm



应用实例





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